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美國SONIX 超聲波掃描顯微鏡 ECHO
詳細信息| 詢價留言品牌：美國SONIX 型號：ECHO 加工定制：是 類型：光學(xué) 目鏡放大倍數(shù)：3000 物鏡放大倍數(shù)：3000 儀器放大倍數(shù)：是傳統(tǒng)超聲波掃描顯微鏡的2.5倍 重量：100000 g 適用范圍：半導(dǎo)體，汽車零件和元件 裝箱數(shù)：1 重量：100000 g 適用范圍：半導(dǎo)體，汽車零件和元件 美國SONIX 超聲波掃描顯微鏡 SAT ECHO-VS, ECHO Pro
優(yōu)勢
一 、提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量，使用ECHO 的設(shè)備和軟件：
（1）容易的設(shè)置和使用
（2）工藝過程監(jiān)測
（3）合格/失效分選
（4）機構(gòu)認證
二、SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應(yīng)用和材料。
三、SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷，而且對于bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有卓越的檢測性能。
簡介
全自動超聲波掃瞄顯微鏡, 晶圓檢測設(shè)備 AutoWafe Pro, 封裝檢測設(shè)備ECHO-LS:
SONIX™公司是 丹納赫集團(NYSE: DHR)下的全資子公司，是全球超聲波掃描檢測儀和無損檢測設(shè)備的優(yōu)秀制造商。 自1986年成立以來，SONIX 在無損檢測領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是一家基于微機平臺，提供全數(shù)字化成像方案的公司。 SONIX 一直致力于技術(shù)革新，提供給客戶*領(lǐng)先的聲學(xué)檢測技術(shù)。
SONIX™ 設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各種材料的無損檢測，包括半導(dǎo)體，汽車零件和其他先進元件。 擁有獨立開發(fā)的軟件，硬件和專利技術(shù)，這么多年來通過和客戶的不斷合作，實現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進。 SONIX 努力提供*準確的數(shù)據(jù)，完美的圖像質(zhì)量，非凡的操作性和設(shè)備的高可靠性，從而為客戶提高效率，節(jié)約成本。
封裝檢測設(shè)備
ECHO-LS
ECHO-VS 超聲波掃描顯微鏡
SONIX ECHO VS 是專為更高精度要求，更復(fù)雜元器件設(shè)計的新一代設(shè)備。廣泛應(yīng)用在 Flip chips，Stacked die，Bumped die，Bonded wafers 等。
● 高分辨率下，掃描速度是傳統(tǒng)超聲波掃描顯微鏡的2.5倍
● 獨有的波形模擬器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 掃描分辨率小于1微米
● 水溫控制系統(tǒng)及紫外殺菌系統(tǒng)超高頻狀態(tài)工作下，信號更穩(wěn)定
ECHO Pro™全自動超聲波掃瞄顯微鏡
全自動生產(chǎn)型:
● 批量 Tray盤和框架直接掃瞄
● 編程自動判別缺陷
● 高產(chǎn)量,無需人員重復(fù)設(shè)置
● 自動烘干
晶圓檢測設(shè)備 AutoWafe Pro.
SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動晶圓檢測設(shè)計的機型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測，TSV量測方面。
● 使用于200和300mm晶圓
● 符合一級凈化間標準
● Cassette裝載，全自動檢測，支持FOUP或FOSB機械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議
● KLARF輸出文件
Pulse 2™ 信號發(fā)生器/接收器- 適合所有 ECHO & AutoWafer 設(shè)備
● 相對標準的信號發(fā)生器/接收器可獲得 +12dB
● SNR比例(Signal-to-noise Ratio)具備4x 倍進展
● 從低層次的背景噪聲中分隔信號
● 產(chǎn)生干凈，清晰的圖像，即使在超高頻的信號轉(zhuǎn)換器
超聲波探頭 - 適合所有 ECHO 系列
Sonix S-series Transducer 超聲波探頭是為了滿足半導(dǎo)體制造商的高要求而設(shè)計的:
● 自家研發(fā)
● 頻率范圍寬闊
● 結(jié)構(gòu)堅固
可調(diào)的托盤夾具 (NEW !!)
配件編號: 600-5100
使用平臺: ECHO LS, ECHO, ECHO VS
應(yīng)用: 基板, 托盤, 晶圓優(yōu)點:
• 方便使用 - 節(jié)省時間
• 樣品被很好的固定起來掃描, 可獲得更好的圖像
• 托盤, 基板, 晶圓均可使用
• 適用于現(xiàn)有的 ECHO 機型平臺
• 專利申請中
透射桿擴展裝置 (NEW !!)
配件編號: 中尺寸 (180mm) 組件編號: 600-2323A / 全尺寸組件編號 : 600-2324A
使用平臺: ECHO LS, ECHO, ECHO VS
應(yīng)用: 晶圓, 托盤, 基板 優(yōu)點:
• 使用方便 - 安裝簡單, 節(jié)省時間
• 2種尺寸 (180mm and 250mm) 可滿足絕大部分產(chǎn)品尺寸需求
• 適用與現(xiàn)有 ECHO 機型平臺
• *需要 Sonix 新一代大直徑透射桿
晶圓夾具 (與可調(diào)的托盤夾具搭配使用) (NEW !!)
配件編號: 600-5200
使用平臺: ECHO LS, ECHO, ECHO VS
應(yīng)用: 300mm 晶圓
優(yōu)點:
• 可以簡單的與 Sonix 專利申請中的可調(diào)的托盤夾具搭配使用
• 安全固定 300mm 晶圓, 提供*佳的成像能力
• 適用于有翹曲的晶圓, 保持晶圓平整
• 適用于現(xiàn)有的 ECHO 機型平臺
SONIX 軟件優(yōu)勢
● 可編程掃描，自動分析
定制掃描程序，一鍵開始掃描，自動完成分析，生成數(shù)據(jù)
● FSF表面跟蹤線
樣品置于不平的情況下，自動跟蹤平面，獲取同一層面圖片
● ICEBERG離線分析
存儲數(shù)據(jù)后，可在個人電腦上進行再次分析
● TAMI斷層顯微成象掃描
無需精確選擇波形，可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度，一次掃描可獲得200張圖片，*快速完成分析。
SONIX 軟件 - 應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能
SONIXTM 的Flexible TAMITM設(shè)計
專為需要檢測由不同層厚和材料組成的多層封裝產(chǎn)品,例如:
● 3-D架構(gòu)
● Stacked Die
● Bonded wafers
● Wafer 級封裝 (WLP)
● 塑封Flip Chips
SONIX 硬件優(yōu)勢
● 緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計
模塊化設(shè)計使得結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定，易于維護
● 高速、穩(wěn)定的馬達設(shè)計
掃描軸采用*先進的線性伺服馬達，提供高速、穩(wěn)定、無磨損的掃描
● 專利的超聲波探頭/透鏡
提供精確的缺陷檢驗，*小能探測到僅0.1微米厚度的分層。
● PETT技術(shù)
反射及透射同時掃描，有效提高元器件分析效率
美國SONIX 超聲波掃描顯微鏡 SAT ECHO-VS, ECHO Pro關(guān)鍵特點:
減少實驗室空間（占地面積小） 鍵盤快捷鍵（方便移動操作） 全焊接機身框架（促進平臺穩(wěn)定性） 探頭隨 Z 軸移動（取代托盤上下移動） 降低水槽高度（人體工程學(xué)設(shè)計） 可滑動支架 水槽底部傾斜（易于排干水） 可同時進行反射掃描和透射掃描 超大掃描面積 緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計（低維護） 范圍 360 度可視 可滑動的電氣面板（方便維護） 防靜電涂層（安全罩、水槽、門等） 關(guān)鍵參數(shù)：
（一）、掃描軸（X 軸）： 定位裝置： 線性伺服馬達 速度：1000mm/sec 重復(fù)精度：+/-0.5um 編碼器分辨率：0.5um 掃描范圍：350mm （二）、步進軸（Y 軸）： 掃描范圍：350mm 分辨率：0.25um 定位裝置：低電磁干擾導(dǎo)軌式步進馬達 （三）、聚焦軸（Z 軸）： 行程：50mm 分辨率：0.25um 定位裝置：低電磁干擾導(dǎo)軌式步進馬達 （四）、夾具： JEDEC 標準尺寸托盤夾具 掃描平臺可固定特有的托盤夾具 透射桿探頭固定 （五）、流體系統(tǒng)： 循環(huán)泵和 5um 過濾器 （六）、超聲波儀器： Pulse 2 信號發(fā)生器/ 接收器 可選 Pulse2-U超高頻脈沖發(fā)生/接收器 （七）、顯示器： 23 英寸液晶顯示器 可以支持兩個顯示器 （八）、機臺尺寸： W31”xD31”xH48’’(約長 79cm*寬 79cm*高 122cm) （九）、其它： 帶腳輪的擺放桌 緊急開關(guān)和安全鎖 較低的取放樣品區(qū)域 WinICTM 操作軟件：
ECHOTM 機臺面板與 WinICTM 軟件的組合，給用戶提供一個強大、簡易使用的分析工具。WinICTM軟件是 Sonix 公司研發(fā)的超聲波掃描顯示鏡成像軟件，使用于Windows 7 操作系統(tǒng)。
WinICTM 軟件提供先進的圖像，分析功能以幫助定量和定性分析圖像數(shù)據(jù)。WinICTM 使用大量的圖形和屏幕指導(dǎo)幫助所有用戶，從入門到精通。其它特色軟件功能選項：
￭ TAMITM SCAN:一次掃描得到*多 100 張斷層圖像
￭ ICEBERGTM :強大的離線分析技術(shù)
￭WinICTM Pro:增加功能和分析
￭ WinICTM Offiline：遠程分析
￭ Waveform SimulatorTM/Beam EmulatorTM ：波形仿真器
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留 言
- 聯(lián)系人：牟淑蓉
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產(chǎn)品分類
